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期刊论文
直拉硅中氮与氧的相互作用
直拉硅中氮与氧的相互作用
来源 :中国有色金属学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:blueblood008
【摘 要】
:
应用红外光谱技术研究了CZ硅中氮与氧的相互作用,实验发现硅中氮的行为不仅与热处理温度有关,而且与热处理时间、样品的热历史等因素有关,由此得出,硅中氮与氧的相互作用实际上分为
【作 者】
:
刘培东
李立本
阙端麟
余思明
【机 构】
:
浙江大学高纯硅及硅烷国家重点实验室,中南工业大学应用物理及热能工程系
【出 处】
:
中国有色金属学报
【发表日期】
:
1995年2期
【关键词】
:
氮氧复合物
氧沉淀
硅
热处理
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应用红外光谱技术研究了CZ硅中氮与氧的相互作用,实验发现硅中氮的行为不仅与热处理温度有关,而且与热处理时间、样品的热历史等因素有关,由此得出,硅中氮与氧的相互作用实际上分为三个阶段:(1)氮氧复合物的形成,(2)氮氧复合物的脱溶,(3)以氮为氧沉淀的长大。
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