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ZnO基透明导电薄膜制备方法研究进展
ZnO基透明导电薄膜制备方法研究进展
来源 :辽宁大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaibian000000
【摘 要】
:
ZnO基透明导电薄膜与掺锡氧化铟薄膜(ITO)相比,不仅性能与其相似,还具有ITO很多无法比拟的优点.因此,制备ZnO基透明导电薄膜成为当今研究热点.综述了ZnO基透明导电薄膜制备方法的研
【作 者】
:
谭天亚
江雪
崔春阳
李春梅
徐广文
吴炜
郭永新
【机 构】
:
辽宁大学物理学院
【出 处】
:
辽宁大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
2007年4期
【关键词】
:
透明导电薄膜
ZNO
制备方法
电阻率
透射率
transparent conductive thin films ZnO deposition techniq
【基金项目】
:
辽宁大学科研启动基金资助项目(408041).
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ZnO基透明导电薄膜与掺锡氧化铟薄膜(ITO)相比,不仅性能与其相似,还具有ITO很多无法比拟的优点.因此,制备ZnO基透明导电薄膜成为当今研究热点.综述了ZnO基透明导电薄膜制备方法的研究进展,并对各自的优缺点进行了讨论.
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