Study of High Capacitance Ratios CPW MEMS Shunt Switches

来源 :稀有金属材料与工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xtinxtin
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<正>This paper describes a fixed-fixed beam ohmic switch in series with a fixed capacitor as a replacement for a capacitive switch.In this switch,a metal plate deposited on the dielectric ensures perfectly contact with the dielectric layer in the dow
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本文以氧化铝、碱式碳酸镁和二氧化硅为原料,用固相合成法制备了堇青石-假蓝宝石复相陶瓷材料.用阿基米德法测量了其开口气孔率,用X射线衍射仪研究了该材料成分组成.测试其介电性能,并重点分析讨论了气孔率、假蓝宝石含量、烧结助剂含量、晶格常数对此复相材料的介电性能的影响.结果表明,该材料具有低的介电常数和较小的介电损耗,介电常数ε<7.0,介电损耗tgδ<10-3.
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