【摘 要】
：
微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用。本文针对静电型MEMS周期运动测试的要求,设计并研
【机 构】
：
天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
论文部分内容阅读
微结构运动测试技术已成为MEMS测试技术的重要组成部分。由于MEMS器件中微结构的运动频率较高,频闪成像法得到了广泛的应用。本文针对静电型MEMS周期运动测试的要求,设计并研制了一种基于FPGA的频闪成像和运动激励同步控制系统,用于MEMS器件的周期运动激励和微结构高速周期运动过程中清晰图像的获取。实验表明,频闪照明的最小脉冲宽度为10 ns,运动相位的调整间隔小于3.75°,能够满足周期运动频率为1 MHz微结构运动测试的要求。
其他文献
探讨我国自身免疫性肝炎患者临床分型及各型非分型标志抗体出现情况.用免疫荧光法及酶免疫条带技术测定81例确诊自身免疫性肝炎患者血清自身抗体情况,并进行分类归纳统计.我
为了研究射手与枪握把之间的相互作用力,获取人—枪握把相互作用的特性,研制了二维握把力传感器。并且建立了相应的标定测试系统,建立了传感器二阶动态特性传递函数。并对握
为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性,避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的。本文就针对一种四边八梁结
结合虚拟仪器技术和光学相干层析技术,设计了用于口腔牙齿检测的全光纤光学相干层析系统。通过对干涉信号进行一系列的变换、分析,获得离体牙齿的二维图像。使用LabVIEW实现
新时期大学生文化自信的培养是实现中华民族文化自信的重要一步。大学生文化自信的培养不仅是新时期文化建设的需求，更是大学生自身价值观自信的重要保证。本文从文化自信、新
探讨经微导管碘油阿霉素乳剂联合无水乙醇肝段栓塞治疗小肝癌的可行性及临床疗效.联合肝段超选择和非超选择插管组各22例,前者以微导管"嵌入"肿瘤血管,后者以"低压流控法"进
观察川芎嗪联合苦参秦治疗慢性乙肝的疗效.86例患者随机分为两组,对照组(B组)36例给苦参素及常规护肝药;治疗组(A组)50例在对照组基础上联用川芎嗪(40-80)mg/日,静脉滴注,疗
针对光纤光栅（FBG）与被测金属构件可靠连接问题,提出环氧树脂掺金属粉末嵌入式封装技术,阐明了该封装工艺,采用纯弯曲梁对裸光纤光栅和封装后的光纤光栅分别进行应变实验,结果
基于Sun-Zhang提出的应变能量计算模型,根据动势能转换与守恒原理,提出了用于分析硅纳米梁基波频率的半连续体模型。与传统的连续体模型相比,该方法考虑了厚度方向进入纳米尺