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以作者课题组近期的研究结果为基础，以集成电路中互连线用金属Cu薄膜为模型材料，分别介绍了金属薄膜延性和疲劳寿命评价方法及相关测试结果的最新进展，讨论了介观尺度Cu薄膜力学性能的尺度效应，分析了薄膜材料中准静态力学性能对动态性能的影响，并简述了多场耦合对薄膜力学性能及变形行为的影响。
介观尺度铜膜力学行为尺度效应研究进展
【摘 要】
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以作者课题组近期的研究结果为基础，以集成电路中互连线用金属Cu薄膜为模型材料，分别介绍了金属薄膜延性和疲劳寿命评价方法及相关测试结果的最新进展，讨论了介观尺度Cu薄膜力学
【机 构】
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西安交通大学金属材料国家强度重点实验室
【出 处】
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中国材料进展
【发表日期】
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2009年1期
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划（973）项目（2004CB619303）致谢 感谢张国君副教授,牛荣梅博士,王瑞红博士,博士生张敬、王章洁、张金钰,硕士生汪承材、孙晓娟、孙兵、赵仪等人的辛勤工作.
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