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大直径金刚石膜等离子淀积炉的方案设计
大直径金刚石膜等离子淀积炉的方案设计
来源 :中山大学学报论丛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:davidrandy
【摘 要】
:
金刚石薄膜由于其极高的硬度和化学稳定性,并且透红外光特性和电阻率高的特性,广泛应用于机械、电子、光学、医学等领域.对采用氩氢等离子体电弧(即上电极)与碳氢化物在水冷
【作 者】
:
罗嘉
黄步玉
陈建四
【机 构】
:
广州市科通机电有限公司,广州有色金属研究院
【出 处】
:
中山大学学报论丛
【发表日期】
:
2002年5期
【关键词】
:
等离子淀积炉
方案设计
金刚石膜
等离子枪
运动轨迹
传动方案
DF
plasma
depositional furnace
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金刚石薄膜由于其极高的硬度和化学稳定性,并且透红外光特性和电阻率高的特性,广泛应用于机械、电子、光学、医学等领域.对采用氩氢等离子体电弧(即上电极)与碳氢化物在水冷成膜台(即下电极)上淀积金刚石膜的结构设计方案作较详尽的探讨,以物元分析法设计出较合理的传动方案,解决了工艺中的难题.
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