【摘 要】
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针对转台的六项运动误差,设计了一种简便易行的检测方法。通过TESA测头的组合,实现了转台沿x、y、z三个方向的跳动误差以及绕x、y轴偏摆误差的精确检测,通过光电自准直仪与多
【机 构】
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天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
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针对转台的六项运动误差,设计了一种简便易行的检测方法。通过TESA测头的组合,实现了转台沿x、y、z三个方向的跳动误差以及绕x、y轴偏摆误差的精确检测,通过光电自准直仪与多面棱体的组合,实现了转台分度误差的高效高精度测量。结果表明:该方法简单、可靠、成本低。在多次测量的过程中,转台的分度误差测量精度可达到2"以内,转台跳动测量误差小于3μm。同时,每个测量点位偏摆的测量误差基本上都控制在千分之一以内。
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