【摘 要】
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高真空排气是真空电子器件生产过程中关键工艺。本文介绍的计算机实时控制系统被首次应用于滚生产过程中。文章阐述了该系统的控制模式,系统功能与硬件配置:系统软件开发以及
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高真空排气是真空电子器件生产过程中关键工艺。本文介绍的计算机实时控制系统被首次应用于滚生产过程中。文章阐述了该系统的控制模式,系统功能与硬件配置:系统软件开发以及其特点等内容。
High vacuum exhaust is the key process in vacuum electronic device production. This article describes the computer real-time control system was first applied to roll production process. The article describes the control mode of the system, system functions and hardware configuration: the system software development and its characteristics.
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