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LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性而被广泛应用于声表面波器件中。对LiNbO3的声表面波特性及薄膜制备技术进行了综述，并着重介绍了LiNbO2／蓝宝石及LiNbO3/金刚石多层结构的制备、声表面波特性的理论研究及压电薄膜研究进展。
LiNbO3压电薄膜的研究进展
【摘 要】
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LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性而被广泛应用于声表面波器件中。对LiNbO3的声表面波特性及薄膜制备技术进行了综述，并着重介绍了LiNbO2／蓝宝石及LiNbO3/金刚石多层结
【机 构】
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郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室,新乡学院,浙江大学硅材料国家重点实验室
【出 处】
：
真空与低温
【发表日期】
：
2010年1期
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