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辉光放电质谱仪测定超纯锗中23种痕量杂质元素
辉光放电质谱仪测定超纯锗中23种痕量杂质元素
来源 :质谱学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hopehappy501
【摘 要】
:
本文报导了一种用辉光放电质谱仪VG9000在无标准品的情况下对超纯半导体材料锗中23种痕量杂质元素的直接而快速的定量测定方法。该方法具有10ppt量级的检测极限,是鉴定超纯金属或半导体材料
【作 者】
:
普朝光
肖绍泽
【机 构】
:
昆明物理研究所
【出 处】
:
质谱学报
【发表日期】
:
1997年4期
【关键词】
:
辉光放电质谱仪
痕量杂质
锗半导体
纯度
GDMS
determination
Ge
ultra-trace elements
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本文报导了一种用辉光放电质谱仪VG9000在无标准品的情况下对超纯半导体材料锗中23种痕量杂质元素的直接而快速的定量测定方法。该方法具有10ppt量级的检测极限,是鉴定超纯金属或半导体材料纯度的理想手段。
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