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本文报导了一种用辉光放电质谱仪ＶＧ９０００在无标准品的情况下对超纯半导体材料锗中２３种痕量杂质元素的直接而快速的定量测定方法。该方法具有１０ｐｐｔ量级的检测极限，是鉴定超纯金属或半导体材料纯度的理想手段。
辉光放电质谱仪测定超纯锗中23种痕量杂质元素
【摘 要】
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本文报导了一种用辉光放电质谱仪ＶＧ９０００在无标准品的情况下对超纯半导体材料锗中２３种痕量杂质元素的直接而快速的定量测定方法。该方法具有１０ｐｐｔ量级的检测极限，是鉴定超纯金属或半导体材料
【机 构】
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昆明物理研究所
【出 处】
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质谱学报
【发表日期】
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1997年4期
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