切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
期刊论文
半导体用硅基特气乙硅烷的研究进展
半导体用硅基特气乙硅烷的研究进展
来源 :化工管理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:king_caspe
【摘 要】
:
乙硅烷是半导体制造中气相沉积薄膜的重要前驱体,随着光伏和集成电路的快速发展,制备高品质乙硅烷、实现进口替代已经成为一个研究热点,文章综述了乙硅烷的合成和纯化方法,并
【作 者】
:
万烨
刘见华
赵雄
赵宇
常欣
严大洲
【机 构】
:
洛阳中硅高科技有限公司、多晶硅材料制备技术国家工程实验室,中国恩菲工程技术有限公司
【出 处】
:
化工管理
【发表日期】
:
2018年19期
【关键词】
:
乙硅烷
硅基特气
提纯
【基金项目】
:
项目:2016年国家工业强基工程,编号:0714-EMTC02-5593
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
乙硅烷是半导体制造中气相沉积薄膜的重要前驱体,随着光伏和集成电路的快速发展,制备高品质乙硅烷、实现进口替代已经成为一个研究热点,文章综述了乙硅烷的合成和纯化方法,并对乙硅烷的前景进行了分析和展望。
其他文献
心脏跳动中房室缺修补术病人体外循环前后心肌肌钙蛋白Ⅰ的变化
目的观察患者动脉血中心肌肌钙蛋白I(cTnI)浓度的变化,评价其在心脏跳动中心内手术体外循环的心肌受损情况。方法接受体外循环心脏跳动中房间隔缺损(ASD)修补术或室间隔缺损(VSD)修
期刊
心脏跳动中
体外循环
心肌肌钙蛋白Ⅰ
螺杆压缩机试车过程中出现的问题及返厂整改措施
随着科技的发展,中海油惠州石化公司不断发展壮大,目前已引进3台723-K-101B/C型螺杆压缩机,但在试车运行过程中出现机组振动探头值虚高问题,设备返厂维修,笔者在见证维修过程
期刊
螺杆压缩机
运行问题
故障原因
整改措施
基于CNKI数据的近10年我国土地整治研究文献计量分析
本文以中国知网数据库为数据来源,归纳了2009~2018近10年期间以“土地整治”为主题的SCI来源期刊、EI来源期刊、CSCD期刊上发表的论文,并从论文的研究内容、核心作者、核心机
期刊
土地整治
被引频次
中国知网
核心机构
核心作者
复合微生物肥料对科尔沁区天然打草场群落地下生物量的影响
该试验在内蒙古半干旱区的科尔沁天然打草场开展。羊草是科尔沁区天然打草场的优势物种,近年来发生的不同程度的草场退化现象,严重影响了种群特征和群落生产力,尤其是地下生
期刊
复合微生物肥料
天然打草场
群落
地下生物量
农科专业转型的理论实践
随着我国经济的转型升级,急切需要培养实践经验丰富、勤奋敬业、技艺高超的实用技能型人才。而技能型人才对企业的设备更新、技术改造、产品质量和工艺水平提升、效益增加至
期刊
农科专业
转型
理论实践
农村一二三产业融合发展视域下的黑龙江省农业产业结构调整研究
2015年至2018年以来,中央连续四年下达1号文件部署解决农村一二三产业融合发展问题。自2010年黑龙江省粮食总产量实现1000亿斤的历史性突破之后,2017年黑龙江省粮食总产量达
期刊
农业产业结构
产业结构调整
产业融合
一、二、三产业
农业现代化
术后早期炎性肠梗阻的诊断和治疗
腹部术后炎性肠梗阻的发病机理及治疗有一定特殊性,为提高对其认识和治疗,对我院1999至2005年收治的炎性肠梗阻29例总结报告如下。
期刊
术后早期炎性肠梗阻
治疗
术后炎性肠梗阻
诊断
发病机理
总结报告
静脉高氧液辅助治疗肝硬化肝性脑病
目的 观察静脉高氧液对肝硬化肝性脑病的辅助治疗作用。方法 33例肝硬化肝性脑病患者随机分为两组,在常规治疗基础上,加用静脉高氧液治疗(高氧液组)17例,常规鼻导管吸氧治疗(鼻导管
期刊
肝性脑病
静脉高氧液
鼻导管吸氧
烟草苗床期普通花叶病(TMV)组织印迹检测技术研究
本文探讨了烟草苗床期TMV组织印迹检测技术,包括第一抗血清最适浓度的确定、第一抗血清和第一抗血清最佳温度及时间的优化、烟苗最佳取样部位的选择、感染烟草普通花叶病毒后
期刊
烟草
苗床期
普通花叶病(TMV)
组织印迹
检测技术
Tobacco
Seedbed Period
Tobacco Mosaic Virus (TMV)
Ti
中药一清胶囊佐治小儿上呼吸道感染57例疗效观察
用中成药-清胶囊加青霉素治疗小儿上呼吸道感染57例,总显效率为91.22%,临床症状改善快,副反应不明显。
期刊
上呼吸道感染
小儿
中西医结合治疗
青霉素
与本文相关的学术论文