论文部分内容阅读
文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发 ,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组成尺寸和它各部分部件的材料构成以及在硅材料加工过程中存在的主要技术难题。最后 ,详细给出了电容式微型压力传感器的加工工艺过程
新型电容式微型压力传感器
【摘 要】
：
文中从应用开发MEMS产品的实用角度出发 ,着力介绍一种新型的电容式微型压力传感器的结构组成和它的MEMS制造工艺。文中详细给出了这种电容式微型压力传感器的结构组成图、组
【机 构】
：
厦门大学机电工程系福建省!厦门市361005;
【出 处】
：
仪表技术与传感器
【发表日期】
：
2000年06期
其他文献
戈尔巴乔夫是苏联改革的发动者,同时又是官僚特权阶层的成员。他的这种双重角色使他在改革中把追求个人利益放在首位,而置苏联党和国家的利益于不顾;同时也使他不可能领导一
以酿酒酵母为载体,通过酵母生长代谢过程,使无机硒转化到细胞内的蛋白质及多糖上,成为有机的形式。对富硒酵母进行超声波破碎、盐析、透析、冷冻干燥得到酵母硒蛋白。通过测
目的:观察新生儿病房积极降噪护理管理的效果。方法:我院自2016年1月开始对新生儿病房实施积极降噪护理管理,选择实施前(2015年9~12月)和实施后(2016年1~4月)收治于我院的新
＂青马工程＂实施以来取得了显著的成就,十年来＂青马工程＂的实施是一个不断完善优化的过程,是一个不断探索创新的过程,新时代赋予青年新的使命和责任,规划了新的目标和蓝图,提出了
土壤侵蚀是自然界物质循环能量流动的一种常态,是地貌演变的一种形式。长汀县河田镇是国家水土流失典型治理区,自上世纪40年代起就作为全国仅有的三个水土保持试验站存在,该
<正> 随着现代通信、计算机网络、自动控制等技术的发展,建筑智能化系统逐渐增加,监控对象众多,内容广泛。为了实现各个系统之间信息共享、相互协调、互劝和联动功能,综合管
随着“全面二孩”政策的买行,高龄夫妇生育比例激增,高龄生育子代出生缺陷的风险增大.可 以预见,未来10年我国特殊教育需求将大大增长.反观现实,我国特殊教育师资队伍的现状
目的探究在全科护理中应用以人为本的健康教育的临床效果。方法选取86例全科接受诊治的患者分为两组,分别给予常规全科护理和在其基础上以人为本的健康教育进行干预,对两组患
<正>展示设计是一门综合的设计艺术,设计者通过运用空间设计、平面规划、色彩调配、灯光布置以及现代多媒体技术等众多手段,创造出具有艺术张力且独具特色的展示空间,将产品
为了解决焦宝石-碳化硅浇注料在较高温度下工作时间的问题,将硼酸加入到浇注料中。通过分别对比浇注料在25℃、35℃时加入不同含量硼酸后浇注料的工作时间、硬化时间及耐压强