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分别采用透明体模型、黑体模型、灰体模型、三谱带漫反射模型、三谱带镜反射模型和二谱带模型对石英壁面的辐射特性进行模拟，并结合求解辐射传递方程的谱带区域法模型，计算了不同壁面特性下径向三重流MOCVD反应器的壁面温度分布。结果表明，不同的壁面特性模型对MOCVD壁面温度的分布有较大影响，其中壁面发射率的影响最大，而透射率的影响较小；在反应器的不同部位，壁面特性模型对温度分布影响的规律不同。