气化粉与湿法粉制备ITO靶材过程及性能对比研究

来源 :材料开发与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：gaofeijacky1

【摘要】

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【作者】

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杨硕刘冠鹏赵延飞段海洋张伟明

【出处】

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材料开发与应用

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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ITO气化粉 ITO湿法粉 ITO靶材

【基金项目】

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国家战略性新兴产业发展专项(发改办高技[2012]1029号)

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