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用Monte Cairo方法通过matlab对薄膜外延生长进行了计算机模拟．模型中引入Morse势描述粒子间的相互作用，考虑粒子的沉积、吸附粒子的扩散和蒸发3个过程．研究了粒子间相互作用范围α和允许粒子行走的最大步数对薄膜生长形貌的影响．结果表明：在不同的α值下，随粒子行走步数的增加，薄膜的生长都经历了从分散、分形、混合到团聚的过程；在同一最大步数下，α值越大，薄膜越易趋向于分散生长．