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介绍了多线式扫描非球面表面轮廓测试方法，分析了英国TalyHobSon轮廓仪测量数据经分析处理后的数据格式，给出了基于多线法的Matlab三维非球面面形参数的仿真结果。
基于多线法的三维非球面面形参数测试技术研究
【摘 要】
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介绍了多线式扫描非球面表面轮廓测试方法，分析了英国TalyHobSon轮廓仪测量数据经分析处理后的数据格式，给出了基于多线法的Matlab三维非球面面形参数的仿真结果。
【机 构】
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昆明北方红外技术股份有限公司
【出 处】
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云光技术
【发表日期】
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2015年2期
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