测辐射热计型太赫兹波探测器

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美国专利US7557349 (2009年7月7日授权)本发明提供一种采用微桥结构的测辐射热计型太赫兹波探测器。该探测器的微桥结构中有一个包含一层 测辐射热计薄膜的温度探测区,它是由一个悬置在电路衬底上方的支撑部分支撑的。温度探测区上方是一层用介质材料制作、能有效收集太赫兹波的覆盖介质.当该覆盖介质的折射指数为n、厚度为t,太赫兹波长为A时,设定nt〉λ,而且以λ/2的整倍数设定覆盖介质与温度探测区之间的间隙。通过这种安排,人们便可以用一种测辐射热计型红外探测器的结构和制作方法来提高太赫兹波的吸收比,并
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