机构、驱动、检测一体化的压电陶瓷直线驱动模块的研究

来源 :哈尔滨工业大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wscmjk
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介绍了一种结构紧凑、具有纳米级位移分辨率、动态性能好的压电陶瓷直线驱动模块。该驱动模块采用了基于弹性变形原理的微位移机构,并在模块内部藏有电阻应变式微位移传感器,实现了*机构、驱动、检测一体化。
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