【摘 要】
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介绍了一种结构紧凑、具有纳米级位移分辨率、动态性能好的压电陶瓷直线驱动模块。该驱动模块采用了基于弹性变形原理的微位移机构,并在模块内部藏有电阻应变式微位移传感器,实
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介绍了一种结构紧凑、具有纳米级位移分辨率、动态性能好的压电陶瓷直线驱动模块。该驱动模块采用了基于弹性变形原理的微位移机构,并在模块内部藏有电阻应变式微位移传感器,实现了*机构、驱动、检测一体化。
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