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制作了一种新型磁膜结构射频集成微电感．该电感使用溶胶-凝胶法制备的CoZrO铁氧体作为磁性薄膜；采用平面单匝形式的金属线圈，从而形成“SiO2绝缘层／磁膜层（CoZrO）／SiO2绝缘层／Cu线圈”的结构，具有结构简单、制作工艺与常规集成工艺兼容等特点．同时，采用相同工艺同批制作了无磁膜微电感作为对比样品，并取各项结构参数与磁膜电感相一致．测试结果表明，2GHz处，磁膜结构微电感的感值（L）为1．75nH、品质因数（Q）为18．5，与无磁膜微电感相比，L和Q的值分别提高了25％和23％．