【摘 要】
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半导体工艺发展是一个永恒的话题。从摩尔定律诞生之后,半导体产品技术的发展、性能的进步和普及速度的快慢,最终几乎都和工艺相关。没有好的工艺,半导体产业几乎无法快速前
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半导体工艺发展是一个永恒的话题。从摩尔定律诞生之后,半导体产品技术的发展、性能的进步和普及速度的快慢,最终几乎都和工艺相关。没有好的工艺,半导体产业几乎无法快速前行。不过,近期随着工艺快速进步,技术难度越来越大,人们发现传统的工艺技术已经无法满足7nm以下的制程了。好在科学家们通过努力研发,在FinFET之后,又带来了全新的GAA工艺,希望延续现有半导体技术路线的寿命,进一步推进产品向前发展。
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