【摘 要】
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采用溶胶-凝胶工艺制备了(Ba,Sr)TiO3凝胶,并利用微波烧结技术对粉体进行了合成和烧结,获得了晶粒尺寸在1μm以内的Ba0.65Sr0.35TiO3热释电陶瓷.对样品的介电特性和热释电特
【机 构】
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电子科技大学微电子与固体电子学院,中国科学院新疆物理研究所
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采用溶胶-凝胶工艺制备了(Ba,Sr)TiO3凝胶,并利用微波烧结技术对粉体进行了合成和烧结,获得了晶粒尺寸在1μm以内的Ba0.65Sr0.35TiO3热释电陶瓷.对样品的介电特性和热释电特性进行了测试,分析了微波烧结工艺对材料电性能的影响.实验结果表明:该工艺可将钙钛矿相的合成温度由1100℃降低至900℃,并在1310℃烧结25 min获得细晶粒的Ba0.65Sr0.35TiO3,其热释电系数和介电常数与传统陶瓷相差不大,从而材料的热释电响应优值因子要比传统方法获得的样品提高了近1倍.
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