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介绍了微区X射线衍射仪发展的现状,给出了微区X射线衍射仪鉴定物相的研究实例,并讨论了微区X射线衍射法的优缺点.通过配置有封闭3kW X射线光管、单毛细管透镜、PIXcel探测器和普通CCD摄像头的帕纳科XPert PRO MPD X射线衍射仪对光片上的铍矿物进行了微区X射线衍射鉴定,结果确定该铍矿物为羟硅铍石.微区X射线衍射法具有微区、微量、原位、无损等优点,能够进行直径在100μm~300μm范围内的两种或两种以上矿物集合体的物相鉴定.与电子探针等微区手段相互结合,互相补充,鉴定结果更加可靠.