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期刊论文
用正交试验方法优化IC工艺条件
用正交试验方法优化IC工艺条件
来源 :大学数学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jin_sarah
【摘 要】
:
本文用正交试验方法,对某种汽国专用IC工艺进行试验,找到良好的工艺条件.在做重复性试验之后,用单因素方差分析方法,找到最佳工艺条件.并从理论上分析器件参数随工艺条件变化的规律.使
【作 者】
:
唐晓静
【机 构】
:
安徽财贸学院
【出 处】
:
大学数学
【发表日期】
:
1996年3期
【关键词】
:
正交试验
器件参数
最佳工艺条件
cross test
device parameters
best process conditions
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本文用正交试验方法,对某种汽国专用IC工艺进行试验,找到良好的工艺条件.在做重复性试验之后,用单因素方差分析方法,找到最佳工艺条件.并从理论上分析器件参数随工艺条件变化的规律.使该电路在大批量生产过程中,成品率提高30%以上,产生了较大的经济效益.
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