非色散原子荧光激发光源杂质检测方法与装置研究

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研究了一种非色散原子荧光激发光源杂质检测的方法,并研制了检测用标准装置,开发了杂质判别软件。该装置的检测波长范围为190~350nm,波长最大允许误差±0.3nm,实现了激发光源是否含杂质及杂质元素判定的快速检测功能。通过实验验证了检测方法、研制的标准装置及测试软件的正确性。
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