High Performance SLED Fabricated by Pulsed Anodic Oxidation

来源 :兵工学报（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：YOOOZHANG

【摘要】

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InGaAs/AlGaAs MQW superluminescent LED (SLED) is fabricated by using pulsed anodic oxidation and molecular beam epitaxy (MBE). The power and spectral output cha

【作者】

：

GAO Xin BO Bao-xue ZHANG Jing

【机构】

：

National Key Lab on High Power Semiconductor Lasers

【出处】

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兵工学报（英文版）

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

semiconductor technology pulsed anodic oxidation nonuniform quantum well width q

【基金项目】

：

国家自然科学基金

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InGaAs/AlGaAs MQW superluminescent LED (SLED) is fabricated by using pulsed anodic oxidation and molecular beam epitaxy (MBE). The power and spectral output characteristics of three kinds of device structures are investigated. An output power above 10mW with FWHM of 18nm is demonstrated at a current of 150mA.

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