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本文首次报导利用超声调制和带SBS（受激布里渊散射）共轭镜技术的Nd：YAG激光，在激光处于近TEM。模运转的条件下，加工出孔径分别为25μm和20μm的微孔。
激光加工微孔的技术研究
【摘 要】
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本文首次报导利用超声调制和带SBS（受激布里渊散射）共轭镜技术的Nd：YAG激光，在激光处于近TEM。模运转的条件下，加工出孔径分别为25μm和20μm的微孔。
【机 构】
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杭州电子工业学院,浙江大学
【出 处】
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杭州电子工业学院学报
【发表日期】
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1994年3期
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