KLA-Tencor推出全新量测系统

来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户：huanglien

【摘要】

：

KLA-Tencor近日针对10nm以下（sub-10nm）集成电路器件的开发和批量生产推出四款创新的量测系统：Archer^TM600叠对量测系统,WaferSight^TMPWG2图案芯片几何特征测量系统,SpectraSh

【出处】

：

中国集成电路

【发表日期】

：

2017年4期

【关键词】

：

量测系统 KLA-Tencor 关键尺寸温度测量系统

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

KLA-Tencor近日针对10nm以下（sub-10nm）集成电路器件的开发和批量生产推出四款创新的量测系统：Archer^TM600叠对量测系统,WaferSight^TMPWG2图案芯片几何特征测量系统,SpectraShape^TM10K光学关键尺寸（CD）量测系统和SensArray HighTemp 4mm即時温度测量系统。这四款新系统进一步拓宽了KLA-Tencor的独家5D图案成像控制解决方案^TM应用,

其他文献

手机拍照也精彩

最近,常常被微信朋友圈的一些靓丽照片所吸引,一打探不少照片是用手机拍摄的。我们搞摄影的往往比较关注影像的品质,对手机摄影这一新生事物有的人可能还不太认同,很少去用。

期刊

照相机响应速度广角附加镜手机摄影后期处理附加镜头

从《汉书·艺文志》探索汉代典籍整理的特点

《汉书·艺文志》是我国现存最早的一部综合性图书目录,它记载了从先秦至西汉的大量典籍,分类明确,评述简要,为后人了解西汉以前典籍概况、先秦学术思想源流和演变,提供了重

期刊

汉书·艺文志典籍整理

KLA-Tencor为晶片厂推出光罩检查系统的全新TeraFab系列

KLA-Tencor公司日前推出了全新系列的光罩检查系统,为晶片厂提供更灵活的配置方式,以检验进货的光罩,并检查生产光罩是否存在会降低产能并增加生产风险的污染物。TeraFab系统

期刊

TeraFabKLA-Tencor检查系统

政策性银行支持老少边穷地区新农村建设的成效、问题和措施

对内蒙古、青海、西藏、新疆和宁夏等五省区老少边穷地区政策性银行服务现状进行调研，对存在的问题进行了剖析并提出了相关的改进意见，意在推动政策性银行服务老少边穷地区社会

期刊

政策性银行老少边穷地区新农村建设问题措施

基于正交试验设计和模糊分析的船用柴油机燃烧系统参数匹配优化

为研究柴油机燃烧系统参数匹配对柴油机动力和排放性能的影响，利用AVL_BOOST和AVL_FIRE建立4190ZLC-2型船用柴油机整机模型和缸内燃烧高压循环模型，应用正交试验设计方法进行柴

期刊

船用柴油机正交试验设计燃烧系统模糊分析参数匹配参数优化

正常男女性兴奋的磁共振功能成像研究

目的：利用磁共振功能成像技术探讨在色情录像刺激下正常男女性兴奋在中枢神经系统的差异。方法：健康男性和女性各20例，均为右利手，无性功能障碍史，无任何精神、心理及其他器质性疾

期刊

性兴奋磁共振杏仁核扣带回胼胝体男性女性

论《长恨歌》中“当家作主”的城市文化理想

<长恨歌>的出版、获奖、改编曾在文艺界引起一次次轰动和争议,但也为我们的解读留下了无尽的空间."当家作主"的诉求应当是人类普遍追求人生归宿的理想,上海城的人们也不例外,

期刊

《长恨歌》“当家作主”王安忆王琦瑶城市文化

市场经济条件下我国农村土地经营制度的探讨

农村土地制度，是一个国家或地区在农村土地所有权、使用权及其管理方面的政策措施及法律制度规范的总和，是农村经济运行的主要基础，我国当前的农村土地制度由于长期受计划经济的

期刊

土地经营市场化农民经济组织

告别“怨妇”主题的当代女性写作

虽然近几年我国女作家的写作呈现多元化的趋势,但女作家们都在自觉地强调自己的性别意识.在"认识你自己"和"女人作为人"的命题下,勇敢地选择向男权中心文化挑战的姿态.她们站

期刊

当代女性创作“怨妇”主题

环境价值及其评估的意义

一、前言环境问题实质上是一个经济问题,当经济发展以污染环境为代价时,这一代价达到多大时就将损害社会的整体利益?当保护环境以延缓经济发展为代价时,这一代价高到多大程度

期刊

环境质量环境价值相对价值广义化需求曲线稀缺资源环境经济学生产可能性曲线社会科学学报价值评估

KLA-Tencor推出全新量测系统

与本文相关的学术论文