【摘 要】
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康宁公司将扩大其在北布鲁克斐尔德的设施，增加其氟化钙产量。新增的设备在2000年底安装，2001年初开始生产。该部分现在生产供给准分子激光器制造商的CaF2光学件与元件。扩展部
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康宁公司将扩大其在北布鲁克斐尔德的设施，增加其氟化钙产量。新增的设备在2000年底安装，2001年初开始生产。该部分现在生产供给准分子激光器制造商的CaF2光学件与元件。扩展部分主要是生产光刻级的CaF2，用于深紫外光谱区。氟准分子激光157 nm波长的光刻越来越多地被看作制造前沿集成芯片的下一步技术，它需要CaF2光学件。康宁在光刻领域已有丰富的经验，长期以来，它已为各厂商提供极纯和极均匀的熔凝石英，用于248 nm和193 nm波长的光刻系统。
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