【摘 要】
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基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心,通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制,完成电容数据的采集
【基金项目】
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国家自然科学基金(51575248)~~
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基于TDC原理文中提出了一种用于MEMS电容式压力传感器的微弱电容测量电路。该电路以微处理器STM32F103为控制核心,通过SPI总线对Pcap01芯片进行时序控制,完成电容数据的采集、分析、处理和显示。该电路具有体积小、抗干扰性强、分辨率高和刷新频率高的特点。通过对10pF以下的固定电容和MEMS电容式压力传感器测量验证新电路的性能。实验结果表明,电路在10Hz刷新频率下有效精度位为16位,分辨率可达61aF。
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