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本文报道了采用超声喷雾裂解法(USP)法制备a—Fe2O3以及不同厚度的Ti掺杂Fe2O3薄膜,并通过XRD、XPS、SEM、IPCE表征了合成的薄膜。XRD测试结果表明,Ti掺杂和纯相Fe2O3均为a相并在(110)晶面优先生长;从AFM图中看出Fe:O,晶粒呈尖峰状垂直于平面排列;由XPS分析得知Ti离子在Fe2O3薄膜中以Ti4+和Ti3+两个价态存在;由光电效率表征可知,吸收光电转换效率(APCE)值是随着样品薄膜厚度增加而减小,在厚度为20nto时APCE为58%,对于粉末Fe2O3光催化材料是