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本文描述了我们近期研制成功的一台智能化150MHz反射式声显微镜.该机以通用微机为核心,控制整机工作,终端显示图象.该机具有较高的表层和深层分辨能力,已观察出5.1mm深处20μm宽浅槽的形状.它可检测平面、圆柱形零件.该机还具有多项图象处理功能,分析样品参数,具有良好推广应用前景.
智能化150MHz反射式声学显微镜及其图象处理
【摘 要】
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本文描述了我们近期研制成功的一台智能化150MHz反射式声显微镜.该机以通用微机为核心,控制整机工作,终端显示图象.该机具有较高的表层和深层分辨能力,已观察出5.1mm深处20μ
【机 构】
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清华大学电子工程系,清华大学电子工程系
【出 处】
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应用声学
【发表日期】
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1992年3期
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