【摘 要】
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为制造微流控芯片模具实现微流控芯片的大批量生产，采用三酸型蚀刻液对图案掩膜的P20模具铜进行蚀刻加工。观测蚀刻的微流道形状和尺寸，分析蚀刻深度、流道宽度、蚀刻因子和面
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为制造微流控芯片模具实现微流控芯片的大批量生产，采用三酸型蚀刻液对图案掩膜的P20模具铜进行蚀刻加工。观测蚀刻的微流道形状和尺寸，分析蚀刻深度、流道宽度、蚀刻因子和面粗糙度等随加工时间的变化规律。结果表明加工时间越长，微流道侧壁垂直性越好，蚀刻因子越大，但面粗糙度越差。因为反应产物附着于工件表面，特别是侧壁上，使侧向蚀刻速度低于深度方向蚀刻速度，而蚀刻反应产生热量，使工件反应表面温度升高，蚀刻速度加快，影响表面质量。蚀刻反应中，合理控制掩膜尺寸、加工时间、搅拌速度和反应温度等，才能得到满足要求的微流控芯片
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