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介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景，综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展，对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些看法。
纳米硬质薄膜的研究进展
【摘 要】
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介绍了纳米硬质薄膜的概念、设计思想、超硬机制、制备技术及工艺、性能、应用前景，综述了近几年来国内外纳米硬质薄膜材料研究的最新进展，对纳米硬质薄膜的发展趋势提出了一些
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院新金属材料国家重点实验室
【出 处】
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稀有金属与硬质合金
【发表日期】
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2005年3期
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