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SiliconLabs推出高集成度基于MEMS的Si50x振荡器。新型Si50x振荡器基于SiliconLabs专利的CMEMS技术，为在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆（Wafer）上，从而获得完全集成的高可靠“CMOS＋MEMS”单芯片解决方案。
Si50x：MEMS振荡器
【摘 要】
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SiliconLabs推出高集成度基于MEMS的Si50x振荡器。新型Si50x振荡器基于SiliconLabs专利的CMEMS技术，为在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆（Wafer）上，从而获得完全集
【出 处】
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世界电子元器件
【发表日期】
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2013年9期
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