【摘 要】
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文章分析了国内外光电检测技术在半导体行业应用研发的现状,结果发现,目前国内外只能进行卷绕电池X-RAY检测,而缺少叠片电池检测。在此基础上,特别阐述了X-RAY检测技术在3D封
【机 构】
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渭南师范学院数理学院,陕西省X射线检测与应用研究开发中心
【基金项目】
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陕西省自然科学基金项目:基于固态系统的量子关联传递(2013JM1006);渭南市科技计划项目:X射线无损检测技术在农副产品检测中的应用研究(2017JCYJ-2-6);渭南师范学院“十三五”重大科研项目:X射线无损检测技术在智能化安检方面的应用研究(渭师院科[2017]22号);渭南师范学院自然科学研究重点项目:农副产品的表面检测与内部检测(2015ZD002);渭南师范学院自然科学研究专项
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文章分析了国内外光电检测技术在半导体行业应用研发的现状,结果发现,目前国内外只能进行卷绕电池X-RAY检测,而缺少叠片电池检测。在此基础上,特别阐述了X-RAY检测技术在3D封装过程内部缺陷检测的应用研究进展、利用X-RAY检测技术检测锂离子电池内部缺陷的原理及其算法。结果表明,正是因为X-RAY对物体内部结构不同材料吸收各异,导致吸收后的成像也不同,从而进行内部缺陷检测,在工业探伤与检测、医学检查和安全检验等领域已得到广泛应用,但面向极大规模集成电路新工艺还有许多技术难题需要突破。
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