电容传感器变频差动数字检测电路研究

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在差动对称式变频检测电路(DFCT)的分析基础上,设计了两种数字式对称差动变频检测集成电路,讨论了设计电路的特点。对设计出的分立元件多谐振荡数字式对称差动变频检测电路进行了试验,试验结果表明:对变间隙式电容传感器,不论是振荡的输出频率,还是两者的差频都是完全成线性输出的,输出的灵敏度达到0.084 μm/Hz。
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