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研究了具有不同取向Ca F2晶体材料的表面加工特性问题。首先通过对具有不同取向Ca F2晶体材料的表面进行精密加工实验,研究了抛光过程中去除率与所加工表面晶向的关系;对所加工的表面质量进行测试,分析了晶体取向与表面抛光所获得粗糙度的关系。结合Ca F2晶体的结构与其物理特性,讨论了造成不同取向Ca F2晶体材料表面加工特性差异的原因,得出了（111）晶面在相同加工条件下可获得最佳抛光质量的结论。