具有使用原子层沉积形成的集成计算元件的流体分析系统(英文)

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专利名称:FLUID ANALYSIS SYSTEM WITH INTEGRATED COMPUTATION ELEMENT FORMED USING ATOMIC LAYER DEPOSITION专利号:US2015369043(A1)申请号:US201314766960申请日:2013.02.11公开(公告)日:2015.12.24申请(专利权)人:HALLIBURTON ENERGY SERVICES,INC.Fluid analysis systems with Integrated Computation Elements(ICEs)or other optical path components Patent Title: FLUID ANALYSIS SYSTEM WITH INTEGRATED COMPUTATION ELEMENT FORMED USING ATOMIC LAYER DEPOSITION Patent No .: US2015369043 (A1) Application No .: US201314766960 Date of Application: 2013.02.11 Disclosure of Invention: Date of Dec. 25, 2015 (Assignee) HALLIBURTON ENERGY SERVICES, INC. Fluid analysis systems with Integrated Computation Elements (ICEs) or other optical path components
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