溶胶-凝胶膜光学表面激光清洗工艺研究

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为了解决光学元件表面的颗粒污染问题,在单发次激光干式清洗的基础上,提出了气流置换系统辅助的激光清洗方法,使用波长为355nm的Nd∶YAG激光器,针对镀溶胶-凝胶SiO 2薄膜熔石英光学表面粒径为1μm~50μm的典型SiO 2颗粒污染物,进行了理论分析和清洗实验,取得了可用于激光清洗的工艺参量。结果表明,对于镀溶胶-凝胶膜熔石英样品的单发激光干式清洗,最佳激光能量密度为2.29J/cm 2,与未镀膜石英的激光清洗工艺参量存在一定差异;在最佳工艺参量下,单发次激光清洗对于粒径1μm以上的SiO 2颗粒清洗
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