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本工作在沟槽型台阶衬底上用直流磁控溅射法外延生长ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ（ＹＢＣＯ）超导薄膜后，制备出台阶结和射频超导量子干涉器（ｒｆＳＱＵＩＤ）．液氮中器件的磁通灵敏度和磁场灵敏度分别达到２．０×１０－４Φ０／Ｈｚ和２９４ｆＴ／Ｈｚ．涂有真空导热硅脂作保护层的器件，至今寿命已达１０个月，经历了３０次以上（个别器件达５０次）测试过程中从液氮到室温的冷热循环，性能没有明显的变化，表现出很好的稳定性．通过研究，解决了制备ｒｆＳＱＵＩＤ器件工艺过程中存在的一些问题，提高了制备器件的可重复性，得到高性能器