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为了抑制非线性光学效应对光学材料表面损伤阈值测量的影响，设计了一种新的激光焦点对焦方法，利用激光对空气电离所发射的等离子体光线作为参照物进行焦点定位，对焦过程中，激光电离焦点处的空气形成等离子体亮点，该亮点通过光学材料表面形成镜像，由镜面成像原理可知样品表面位于等离子体亮点和其镜像连线的中点，调节亮点和镜像重合即可完成对焦。结果表明，该方法操作简便、精度高，这对光学材料的表面损伤阈值测量具有重要意义。