【摘 要】
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针对准分子激光的特点,利用透镜阵设计了一种准分子激光均束系统。其能量均匀度误差优于±5%,满足了准分子激光掩模投影加工和激光辐照的光束质量要求。
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针对准分子激光的特点,利用透镜阵设计了一种准分子激光均束系统。其能量均匀度误差优于±5%,满足了准分子激光掩模投影加工和激光辐照的光束质量要求。
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