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针对准分子激光的特点,利用透镜阵设计了一种准分子激光均束系统。其能量均匀度误差优于±5%,满足了准分子激光掩模投影加工和激光辐照的光束质量要求。
准分子激光均束系统的研究
【摘 要】
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针对准分子激光的特点,利用透镜阵设计了一种准分子激光均束系统。其能量均匀度误差优于±5%,满足了准分子激光掩模投影加工和激光辐照的光束质量要求。
【机 构】
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长春理工大学光电工程学院
【出 处】
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长春理工大学学报
【发表日期】
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2009年2期
【基金项目】
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总装备部资助项目
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