射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积CeO2薄膜的研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:suguangli1507
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
二氧化铈具有高折射率、介电常数和紫外吸收率,因此它广泛地应用于各种光学和电子器件。本文采用射频磁控溅射法在玻璃基片上沉积CeO2薄膜。溅射过程中,首先制备纯二氧化铈靶材,然后在不同的功率上调节不同的基片温度进行溅射。采用光电子能谱、X射线衍射、拉曼光谱和扫描电镜等测试方法表征薄膜的特性。
其他文献
一种用于快速检测过氧化氢的电流型生物传感器。将氧化还原聚合物滴在塑料摹片上溅射的金薄膜工作电极上形成一层对过氧化氢的敏感膜。实验结果表明,该生物传感器在1.0×10
设计了一种新型多圈环形管用于气液两相流参数的测量,对环形管上升段水平方向内外侧差压波动信号进行了分析,采用无因次分析方法获得与差压波动信号均方根相关的特征量,建立了此特征量与容积含气率的关系模型,并在此基础上进行了实验.实验结果表明与差压波动信号均方根有关的特征量和容积含气率存在一定的关系,在考虑到气体密度的影响之后,引入气体密度对关系模型进行修正,建立了差压波动信号均方根和容积含气率量纲1的线性
<正>化疗是对肿瘤的主要治疗手段,而毒副反应则常影响疗效及疗程.笔者在临床工作中发现,患者使用清开灵注射液后,有明显减轻化疗毒副反应的作用,现报告如下.1 临床资料本组57
<正>急性重症胰腺炎起病急,病情凶险.近4年来我们以中西医结合方法治疗37例,较单纯西药治疗缩短了病程,减少了并发症,提高了治愈率.现将有关资料及体会报告如下.1 临床资料本
提出一种计算MAC层信道利用效率的方法,从成帧效率、信道共享效率和冲突避免三个方面建立模型,对无线传感网络MAC层应用协议S-MAC和IEEE802.15.4进行计算分析,并将此两种协议的
为了实现基于内容的多媒体交互功能,视频对象的提取具有相当重要的作用.支持向量机是最新的学习机,在许多领域得到了成功的应用.提出使用自适应分级的支持向量机分类器解决对象分割跟踪问题,能够克服传统的基于运动的跟踪算法的固有缺陷.通过帧差图像的边缘图和当前帧边缘图进行匹配运算,自动获得用于训练支持向量机的初始视频对象.描述像素属性的特征向量由离散余弦变换系数计算的局部特征和用邻接区域的熵组成的临域特征共
结合驱动桥运行时的实际情况,通过分析随机共振原理,给出了一种自适应随机共振算法.该算法能够根据输入信号自动调节系统参数,使其达到共振从而提取淹没在强背景噪声下的有用信号
一种用于自组装膜生物传感阵列的高灵敏度信号读出电路包含一个高灵敏度电流读出放大器,可以接受pA-nA范围的输入电流,其电流增益大约60 dB,相位裕度为63&#176;,并在同一输入
本文分析了当前高职院校学生职业道德教育面临的困境,同时阐述了高职学生职业核心能力的内涵。旨在明确高职院校对于学生职业道德教育的重要意义,创新人才培养模式,加强高职学生
翻转课堂教学模式是有别于传统教学模式的一种新型的教学方法。它改变了传统教学中以老师为主导的模式,激发了学生学习的主动性和参与性,促进了教育理念和教学方式的创新。文