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利用Ｘ射线技术检测了普通工艺和改进工艺制备的内联导电铝膜的织构。分析表明，高体积量且锋锐的｛１１１｝面织构可以大幅度降低大规模集成电路芯片的失效率，讨论了失效的原因及｛１１１｝织构的有利作用，指出了新一代内联导电铜膜相应织构问题的重要性。
大规模集成电路导电薄膜的织构效应
【摘 要】
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利用Ｘ射线技术检测了普通工艺和改进工艺制备的内联导电铝膜的织构。分析表明，高体积量且锋锐的｛１１１｝面织构可以大幅度降低大规模集成电路芯片的失效率，讨论了失效的原因及｛１１１｝织构的有利
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院,应用材料公司
【出 处】
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北京科技大学学报
【发表日期】
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2000年6期
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