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T/R组件金丝键合数目庞大,键合前组件经历多道工序,键合界面种类繁多,相应的工艺难度大。以某型X波段T/R组件金丝键合微组装工艺为研究对象,详细描述了金丝键合的失效模式,分析了失效原因,并对金丝键合工艺进行了优化,优化后工艺的可靠性得到了大幅提升。
X波段T/R组件金丝键合可靠性研究
【摘 要】
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T/R组件金丝键合数目庞大,键合前组件经历多道工序,键合界面种类繁多,相应的工艺难度大。以某型X波段T/R组件金丝键合微组装工艺为研究对象,详细描述了金丝键合的失效模式,分
【机 构】
：
江苏金陵机械制造总厂; 江苏万邦微电子有限公司;
【出 处】
：
航空维修与工程
【发表日期】
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2004年期
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