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阐述了激光干涉测量技术是高精度位移测量的最主要方法之一,具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点.然而,随着测量距离增大,各项误差也随之增大.其中,余弦误差就在大行程激光干涉测量过程中成为一项不可忽略的误差.分析了余弦误差产生的原因,并设计了一套余弦误差修正系统来消除其误差.
基于单片机的余弦误差修正系统
【摘 要】
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阐述了激光干涉测量技术是高精度位移测量的最主要方法之一,具有测量范围大、分辨率高和测量精度高等优点.然而,随着测量距离增大,各项误差也随之增大.其中,余弦误差就在大行
【机 构】
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上海大学精密机械工程系
【出 处】
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机电一体化
【发表日期】
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2005年2期
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