论文部分内容阅读
微系统是微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路甚至接口、通信和电源于一体的微型器件或系统。微系统的习惯术语有：MEMS（Micro Electro-Mechanical System，微机电系统）或MOEMS（微光机电系统，美国）、Micro-Machine（微机械，日本）、Micro Systems（微系统，欧洲）。从其尺寸角度，可分为1-10mm的微小机械，1μm-1mm的微机械，1nm-1μm的纳米机械。相应地，微细加工技术也可分为微米级、亚微米级和纳米级微细加工等。