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The Effect of Discharge Power on the Atmospheric Pressure Non-equilibrium Ar/O2/TiCl4 Plasma Deposit
【摘 要】
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【机 构】
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State Key Laboratory for Modification of Chemical Fibers and Polymer Materials, College of Material
【出 处】
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黑龙江科技信息
【发表日期】
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2012年5期
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