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ZrC涂层是高温气冷堆包覆燃料颗粒最具潜力的一种阻挡层材料。本文利用热力学软件HSC-Chemistry 5.0对化学气相沉积ZrC涂层进行模拟计算。结果表明,化学气相沉积ZrC涂层较佳工艺参数范围如下:原料气体中C/Zr比为0.5~1.5,H2/Ar比为0.5~1.5,沉积温度为1 450~1 650℃。