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采用微波消解-电感耦合等离子体质谱法同时测定土壤中Cr、Ni、Cu、As、Cd、Pb 6种痕量元素,选用Rh和Re作为内标物,在一定范围内质量浓度与其信号强度呈线性关系,线性相关系数能达到0.9999。其加标回收率范围在82.1%~104%,精密度为0.97%~4.08%,标准土壤样品测试能满足要求,对南方某纤维制造企业旧厂土壤进行重金属分析,测试结果符合标准要求。